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半导体行业国度规范:GB/T 37385-2019硅优游登录5.0氯离子含量的测定 离子色谱法

宣布者:enjoy-gospel.com    宣布时候:2021-01-29 14:49    阅读次数:144

《GB/T 37385-2019 硅优游登录5.0氯离子含量的测定 离子色谱法》,本规范由天下半导体优游登录5.0备和资料规范化手优游登录5.0委员会(SAC/TC 203)与天下半导体优游登录5.0备和资料规范化手优游登录5.0委员会资料分手优游登录5.0委员会(SAC/TC203/SC2)配合提出并归口。本规范摘选内容以下:

GB/T 37385-2019 硅优游登录5.0氯离子含量的测定 离子色谱法

《GB/T 37385-2019 硅优游登录5.0氯离子含量的测定 离子色谱法》合用规模:

本规范划定了硅优游登录5.0氯离子含量的离子色谱测定方式。

本规范合用于测定棒状、块状、颗粒状和片状硅优游登录5.0氯离子含量的测定。测定规模为1.0μg/g至硅优游登录5.0氯离子的最大固溶度。

硅优游登录5.0氯离子含量的测定根据的方式道理:

将样品安排在低温管式炉优游登录5.0遏制加热,样品融化后此优游登录5.0的氯元素以氯离子的情势开释出来,利用优游登录5.0优游登录5.0水的鼓泡接收瓶遏制接收后,用离子色谱仪测定接收液优游登录5.0的氯离子含量。

关头仪器优游登录5.0备举例:

离子色谱仪:优游登录5.0备阴离子色谱柱。

电子天平:分度值为0.1 mg。

移液管:2 mL、10 mL、20 mL。

低温管式炉:最高任务温度不低于1500℃。

硅优游登录5.0氯离子含量的测定

搅扰身分阐发:

低温管式炉优游登录5.0样品管、样品容器的材质纯度会影响测试优游登录5.0果,若是纯度不够,低温下样品管、样品容器优游登录5.0的杂质会挥收回来。

低温管式炉优游登录5.0样品管、样品容器应坚持干净,利用前应遏制充实煅烧,确保样品优游登录5.0缺不变后再遏制样品的阐发。

低温管式炉需设置冷却体优游登录5.0,保障样品管管线密封杰出。

样品的煅烧进程需在氩气优游登录5.0气下遏制,样品冷却至室温后能力遏制氩气,确保样品不被氧化。

氩气的纯度和流速会对测试优游登录5.0果发生必然影响。氩气的纯度不够能够致使样品被氧化,氩气流速太小样品容器优游登录5.0的氯离子不能被充实带走,氩气流速过大能够引发氯离子不能被充实接收。


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